• 2022-07-01
    PN结隔离的双极集成电路工艺需要几次光刻,每次光刻目的是什么?
  • 需要六次光刻第一次—N+隐埋层扩散孔光刻;第二次—P+隔离扩散孔光刻;第三次—P型基区扩散孔光刻;第四次—N+发射区扩散孔光刻;第五次—引线接触孔光刻;第六次—金属化内连线光刻。

    内容

    • 0

      光刻工艺的主要流程有哪几步?什么是光刻工艺的分辨率?从物理角度看,限制分辨率的因素是什么?最常用的曝光光源是什么?

    • 1

      光刻是集成电路制造工艺发展的驱动力。 A: 正确 B: 错误

    • 2

      集成电路制造与集成电路设计相关纽带是光刻掩膜版。

    • 3

      集成电路制造工艺需要用到光刻、刻蚀、掺杂、氧化等工艺,是一个非常复杂经过多道工序的过程。

    • 4

      光刻是集成电路制造过程中总成本最高的工艺。( ) A: 错 B: 对