关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 离子注入法具有的特点主要有（） A: 不受固溶度限制 B: 精确的剂量控制 C: 掺杂深度小 D: 均匀性好 离子注入法具有的特点主要有（）A: 不受固溶度限制B: 精确的剂量控制C: 掺杂深度小D: 均匀性好 答案： 查看 举一反三 以下不是离子注入特点的是 。 A: 精确控制掺杂剂量 B: 精确控制掺杂能量 C: C、不会产生缺陷甚至非晶化 D: 杂质掺杂分布非常均匀 以下是离子注入过程中的主要工艺参数的是( )。 A: 注入均匀性 B: 离子注入剂量 C: 离子射程 D: 束流密度 离子注入是一个非平衡过程，注入元素不受扩散系数、固溶度和平衡相图的限制。 A: 正确 B: 错误 离子注入法掺杂工艺通常无法精确控制掺杂浓度。 离子注入法掺杂工艺通常无法精确控制掺杂区域。
