离子注入法掺杂工艺通常无法精确控制掺杂浓度。
举一反三
- 离子注入法掺杂工艺通常无法精确控制掺杂区域。
- 离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段。
- 在MEMS中,掺杂工艺主要有扩散和离子注入两种方式,以下哪些是扩散掺杂的特点() A: 设备简单、成本低 B: 大批量 C: 是高温工艺,不能直接用光刻胶图形作为掩模 D: 掺杂浓度和深度不能精确控制
- 以下不是离子注入特点的是 。 A: 精确控制掺杂剂量 B: 精确控制掺杂能量 C: C、不会产生缺陷甚至非晶化 D: 杂质掺杂分布非常均匀
- 根据离子注入工艺与扩散工艺在掺杂加工中表现出各有千秋的特点，你认为( )具有可以精确控制掺入杂质总量、需要随后热处理以控制杂质浓度分布/结深达到设计要求 A: 扩散工艺 B: 离子注入工艺 C: 外延工艺 D: 快速气相激光掺杂