• 2022-10-27
    在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较:
    A: 离子铣>;等离子体刻蚀>;RIE
    B: 等离子体刻蚀>;离子铣>;RIE
    C: 离子铣>;RIE>;等离子体刻蚀
    D: RIE>;离子铣>;等离子体刻蚀