在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序：离子铣>RIE>等离子体刻蚀。
对
举一反三
- 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较： A: 离子铣>;等离子体刻蚀>;RIE B: 等离子体刻蚀>;离子铣>;RIE C: 离子铣>;RIE>;等离子体刻蚀 D: RIE>;离子铣>;等离子体刻蚀
- 在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序：离子铣>RIE>等离子体刻蚀。 A: 正确 B: 错误
- 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较： A: 离子铣>等离子体刻蚀>RIE B: 等离子体刻蚀>离子铣>RIE C: 离子铣> RIE>等离子体刻蚀 D: RIE>离子铣>等离子体刻蚀
- 中国大学MOOC: 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较：
- 干法刻蚀的方式主要有：溅射刻蚀、等离子体刻蚀、 刻蚀三种。（写文字
内容
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常见的干法刻蚀方法主要包括 A: 等离子体刻蚀 B: 离子铣 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀
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干法刻蚀主要包括下面几类（）。 A: 离子束刻蚀IBE B: 等离子体刻蚀PE C: 反应离子刻蚀RIE D: 高密度等离子体刻蚀HDP
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中国大学MOOC: 干法刻蚀的方式主要有：溅射刻蚀、等离子体刻蚀、 刻蚀三种。（写文字）
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干法刻蚀和湿法刻蚀二者中，通常（）的刻蚀选择比较高，（）的刻蚀通常是各向异性。 A: 湿法刻蚀 干法刻蚀 B: 干法刻蚀 湿法刻蚀 C: 湿法刻蚀 湿法刻蚀 D: 干法刻蚀 干法刻蚀
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三种干法刻蚀方法中，选择性最好的是 。 A: 等离子刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀