关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较: A: 离子铣>等离子体刻蚀>RIE B: 等离子体刻蚀>离子铣>RIE C: 离子铣> RIE>等离子体刻蚀 D: RIE>离子铣>等离子体刻蚀 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较:A: 离子铣>等离子体刻蚀>RIEB: 等离子体刻蚀>离子铣>RIEC: 离子铣>RIE>等离子体刻蚀D: RIE>离子铣>等离子体刻蚀 答案: 查看 举一反三 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较: A: 离子铣>;等离子体刻蚀>;RIE B: 等离子体刻蚀>;离子铣>;RIE C: 离子铣>;RIE>;等离子体刻蚀 D: RIE>;离子铣>;等离子体刻蚀 在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序:离子铣>RIE>等离子体刻蚀。 A: 正确 B: 错误 在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序:离子铣>RIE>等离子体刻蚀。 中国大学MOOC: 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较: RIE的含义是 A: 溅射刻蚀 B: 反应离子刻蚀 C: 等离子体刻蚀