• 2022-10-27
    在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中,各向异性效果比较:
    A: 离子铣>等离子体刻蚀>RIE
    B: 等离子体刻蚀>离子铣>RIE
    C: 离子铣>
    RIE>等离子体刻蚀
    D: RIE>离子铣>等离子体刻蚀