• 2022-10-26
    下面()选项所描述的扩散是:利用保护性气体把杂质源蒸汽携带入石英管内,杂质在高温下分解,并与衬底表面的硅原子发生反应,杂质原子向硅片内部扩散。
    A: 气态源扩散
    B: 液态源扩散
    C: 固态源扩散
    D: 旋涂源扩散