• 2022-10-27
    杂质在硅中扩散主要采用两种方式:恒定表面源扩散和限定表面源扩散,下面对其叙述正确的有
    A: 恒定表面源扩散指将硅片处于恒定浓度的杂质氛围中,杂质扩散到硅表面很薄的表层。
    B: 恒定表面源扩散特点:可控制表面浓度和扩散探度,但不能任意控制杂质总量,因而难以制作出高表面浓度的浅结
    C: 限定表面源扩散指在扩散过程中硅片外部无杂质的环境氛围下,杂质源限定于扩散前淀积在硅片表面极薄层内的杂质总量Q,扩散过程中Q为常量,依靠这些有限的杂质向硅片内进行的扩散。
    D: 限定表面源扩散特点:控制杂质总量和扩散深度,但不能任意控制表面浓度,难以制作出低表面浓度的深结