关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类? 从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类? 答案: 查看 举一反三 在刻蚀工艺中,具有最高选择性的刻蚀工艺是 A: 等离子体刻蚀 B: 干法刻蚀 C: 湿法刻蚀 D: 物理刻蚀 在刻蚀工艺中,减少工艺的压力可以提高刻蚀气体的平均自由程,刻蚀气体容易达到薄膜表面,可以降低宏观负载效应。 工艺上用于反映横向刻蚀程度的参数是: A: 刻蚀速率 B: 刻蚀因子 C: 均匀性 D: 选择比 刻蚀工艺有哪两种类型?简单描述各类刻蚀工艺。 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种( )。 A: 离子束刻蚀、激光刻蚀 B: 干法刻蚀、湿法刻蚀 C: 溅射加工、直写加工 D: 激光刻蚀、电子束刻蚀