关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 在刻蚀工艺中，减少工艺的压力可以提高刻蚀气体的平均自由程，刻蚀气体容易达到薄膜表面，可以降低宏观负载效应。 在刻蚀工艺中，减少工艺的压力可以提高刻蚀气体的平均自由程，刻蚀气体容易达到薄膜表面，可以降低宏观负载效应。 答案： 查看 举一反三 刻蚀可以通过化学或物理步骤选择性移除晶圆表面材料，在湿法刻蚀、干法刻蚀、等离子体刻蚀和激光刻蚀工艺中，（ ）因底切效应无法用于刻蚀小于3μm的图形。 A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 激光刻蚀 从刻蚀工艺上可以将刻蚀分为什么种类？ 在刻蚀工艺中，具有最高选择性的刻蚀工艺是 A: 等离子体刻蚀 B: 干法刻蚀 C: 湿法刻蚀 D: 物理刻蚀 圆筒式等离子刻蚀的（），适用于（）工艺；反应离子刻蚀，（），可以用通入不同的工艺气体，实现好的选择性，适合于对（）和（）的刻蚀。 微细加工技术中的刻蚀工艺可分为（）。 A: 湿法刻蚀 B: 干法刻蚀、 C: 混合刻蚀
