气相沉积法分为物理气相沉积法和化学气相沉积法。( )
对
举一反三
内容
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以下属于多晶硅薄膜直接制备法的有( )。 A: 液相外延(LPE)法 B: 化学气相沉积(CVD)法 C: 等离子增强化学气相沉积(PECVD)法 D: 低压化学气相沉积(LPCVD)
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化学气相沉积和物理气相沉积的基本原理是什么?
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可用于制备柔性电极的方法有哪些? A: 物理气相沉积法 B: 化学气相沉积法 C: 旋涂法 D: 化学还原法
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化学气相沉积与物理气相沉积有什么区别?
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简要说明物理气相沉积和化学气相沉积的区别是什么?