气相沉积法分为（）和化学沉积法；化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、（） 。
物理沉积法；等离子增强化学气相沉积与光化学沉积
举一反三
内容
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关于物理气相沉积法与化学气相沉积法,下列说法正确的是? A: 物理气相沉积法与化学气相沉积法的原料都可以是固态的 B: 两者的反应过程装置相同 C: 物理气相沉积法只涉及到材料物质状态的变化 D: 化学气相沉积法只涉及到材料物质状态的变化
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化学气相沉积法的原理是什么？
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简述化学气相沉积法的步骤。
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化学气相沉积法的概念是什么？
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以下哪种不属于化学气相沉积法