【判断题】气相法主要有物理气相沉积和化学气相沉积
正确
举一反三
内容
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气相沉积法分为（）和化学沉积法；化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、（） 。
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薄膜沉积工艺可以分为气相沉积和(______ )两大类,气相沉积又分为(______ )气相沉积和化学气相沉积。
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化学气相沉积法和物理气相沉积法最主要的区别在于前者需要在真空环境下进行。
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化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为？ A: 常压化学气相沉积 B: 低压化学气相沉积 C: 等离子体增强化学气相沉积 D: 高压气相沉积
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“等离子体增强化学气相沉积”,是一种化学气相沉积。