化学气相沉积法的概念是什么？
化学气相沉积简单来说就是两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到气体表面上。从气相中析出的固体的形态主要有以下几种：在固体表面上形成薄膜、晶须和晶粒，在气体中形成粒子。
举一反三
内容
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以下属于多晶硅薄膜直接制备法的有（ ）。 A: 液相外延（LPE）法 B: 化学气相沉积（CVD）法 C: 等离子增强化学气相沉积（PECVD）法 D: 低压化学气相沉积（LPCVD）
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化学气相沉积和物理气相沉积的基本原理是什么？
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简要说明物理气相沉积和化学气相沉积的区别是什么？
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简述化学气相沉积法的步骤。
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关于物理气相沉积法与化学气相沉积法,下列说法正确的是? A: 物理气相沉积法与化学气相沉积法的原料都可以是固态的 B: 两者的反应过程装置相同 C: 物理气相沉积法只涉及到材料物质状态的变化 D: 化学气相沉积法只涉及到材料物质状态的变化