常用的溅射镀膜方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射,其中磁控溅射的气压最低、靶电流密度最高。
对
举一反三
内容
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下列溅射设备中可以制备绝缘体的是(<br/>)。 A: 直流溅射 B: 高频溅射 C: 磁控溅射 D: 反应溅射
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既能够溅射金属又能够溅射绝缘介质的是方法是 A: 直流溅射 B: 射频溅射
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① 磁控溅射与直流二极溅射相比有什么优点?
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运用磁控溅射方法,在金丝(Au)上溅射一层金属锌膜,需要什么样的溅射条件啊?
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与普通溅射法相比,磁控溅射的特点是什么?