• 2022-10-27
    关于光刻分辨率,下列哪一种说法是错误的()
    A: 减小波长可以提高分辨率
    B: 采用浸入式光刻可以提高分辨率
    C: 使用移相掩膜技术制备的光刻版可以提高分辨率
    D: 接近式光刻的分辨率可以达到50nm