关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2021-04-14 关于光学光刻,下列哪种方法可以获得高分辨率?? 使用移相掩膜技术制备的光刻版|光源为紫光|采取浸入式光刻方法|驻波效应对分辨率无影响 关于光学光刻,下列哪种方法可以获得高分辨率?? 使用移相掩膜技术制备的光刻版|光源为紫光|采取浸入式光刻方法|驻波效应对分辨率无影响 答案: 查看 举一反三 关于光刻分辨率,下列哪一种说法是错误的() A: 减小波长可以提高分辨率 B: 采用浸入式光刻可以提高分辨率 C: 使用移相掩膜技术制备的光刻版可以提高分辨率 D: 接近式光刻的分辨率可以达到50nm 下面哪些选项可以提高光刻技术的分辨率? A: 移相掩膜技术 B: 邻近效应校正技术 C: 采用浸入式光刻技术 D: 提高光源的波长 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 以下方法中,哪些不可以可以提高光刻的分辨率 A: 离轴照明技术 B: 临近效应修正技术 C: 移相掩膜技术 D: 增加波长 浸入式光刻技术可以提高光刻的分辨率。 A: 正确 B: 错误