电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
正确
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。
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化学机械平坦化，简称（），它是一种表面（）技术。
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化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？
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简述化学机械平坦化的工作原理。它的抛光速率受哪些因素的影响？
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利用()原理实现机电能量转换的电磁机械叫做电机