关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化 高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化 答案： 查看 举一反三 高温回流平坦化可应用于金属层间介质的平坦化 A: 正确 B: 错误 高温回流平坦化一般应用于: A: 金属间介质 B: 层间介质 C: 金属前介质 D: 金属介质 为了降低台阶高度对金属互连线的影响，在沉积金属层前必须对圆片平坦化。平坦化的方法主要有（）和（）。沉积的回流介质主要有：（） 表面起伏处用一层厚的介质或其它材料作为平坦化的牺牲层来进行平坦化的方法是 A: 高温回流 B: 反刻 C: 旋涂玻璃法 D: 化学机械抛光 电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
