中国大学MOOC: 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
举一反三
- 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。 A: 正确 B: 错误
- 下列哪种工艺方法可以形成超浅结: A: 低能离子注入 B: 低温扩散 C: 隔着氧化层注入 D: 分子注入法
- 看图判断,下列哪种描述正确:[img=980x269]18037d2a7654308.png[/img] A: 图(a)是注入的低能离子; B: 图(a)是注入的高能离子; C: 图(b)是注入的低能离子; D: 图(b)是注入的高能离子。
- 离子注入机根据能量和束流大小可以分为: A: 高能注入机 B: 低能注入机 C: 大束流注入机 D: 中束流注入机
- 中国大学MOOC: 离子注入的结深主要有注入的能量决定,杂质浓度分布是由剂量决定。