• 2022-10-28
    中国大学MOOC: 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
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      中国大学MOOC: 离子注入中,投影射程及标准偏差,除了与材料有关外,还与注入能量有关。

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      离子注入控制电参量,故易于精确控制注入离子的密度分布、浓度分布可以通过改变注入能量加以控制。

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      关于离子注入,说法错误的是() A: 离子注入可以制备超浅结 B: 增大注入剂量,有可能形成非晶层 C: 原子越重,核阻止越大 D: 高能离子,以核阻止为主

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      注入离子能量越高,离子射程越大。

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      中国大学MOOC:异质结的超注入现象是指?