• 2022-10-28
    离子注入过程是一个非平衡过程,高能离子进入靶后不断与原子核及其核外电子碰撞,逐步损失能量,最后停下来。停下来的位置是随机的,大部分不在晶格上,因而没有()。
    A:  电活性
    B:  晶格损伤
    C:  横向效应
    D:  沟道效应