光刻胶的三种主要成分是:()。正胶的感光剂是(),曝光使其(),正胶的曝光区在显影后();曝光使负胶的感光剂(),使曝光区在显影后()。
举一反三
- 曝光后,光刻胶的溶解性由不溶变成可溶,通过显影可以将其曝光部分去除,这种胶称为 A: 正胶 B: 负胶 C: 光致抗蚀剂 D: 光阻
- 关于正胶和负胶的特点,下列哪种说法正确? A: 负胶的分辨率比正胶好; B: 正胶在显影时感光区发生交联反应; C: 负胶的感光区域在显影时溶解; D: 正胶的感光区域在显影时溶解。
- 显影就是溶解掉正胶工艺的光刻胶,或负胶工艺的光刻胶。该工艺中需要严格控制和。 A: 被曝光 B: 未曝光 C: 显影液温度 D: 显影时间
- 在曝光后被溶解的光刻胶是()。 A: 正胶 B: 负胶 C: 正胶或负胶
- 有关光刻胶的显影下列说法错误的是()。 A: 负胶受显影液的影响比较小 B: 正胶受显影液的影响比较小 C: 正胶的曝光区将会膨胀变形 D: 使用负胶可以得到更高的分辨率 E: 负胶的曝光区将会膨胀变形