• 2022-05-27
    在传统光刻机的光学镜头与晶圆之间的介质可用水替代空气,以缩短曝光光源波长和增大镜头的数值孔径,从而提高分辨率,这种光刻技术是:
    A: 极紫外光光刻
    B: 电子束光刻
    C: 离子束光刻
    D: 浸润式光刻