中国大学MOOC:在VPE、MBE、SEG、LPE、SPE、UHV/CVD、MOCVD中，哪种外延方法能生长杂质陡变分布的薄外延层？
MBE
UHV/CVD
UHV/CVD
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 外延按化学组成可分为同质外延和异质外延，在蓝宝石上生长硅属于同质外延。
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中国大学MOOC: 外延层薄膜厚度测试方法是
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外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。
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在硅CVD外延生长中，所利用的基本热化学过程共有三个类型：______ 反应、______ 反应、______ 反应。
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中国大学MOOC: 异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法：