关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入!公告:维护QQ群:833371870,欢迎加入! 2022-10-27 中国大学MOOC: 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中 中国大学MOOC: 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中 答案: 查看 举一反三 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合 以下刻蚀方法中,不属于各向同性的刻蚀是()。 A: 湿法刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 反应离子刻蚀 中国大学MOOC: 反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大;若化学作用占主导则刻蚀速度较慢,各项同性,表面粗糙。 三种干法刻蚀方法中,选择性最好的是 。 A: 等离子刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀 中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和