中国大学MOOC: 反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大；若化学作用占主导则刻蚀速度较慢，各项同性，表面粗糙。
举一反三
- 反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大；若化学作用占主导则刻蚀速度较慢，各项同性，表面粗糙。 A: 正确 B: 错误
- RIE刻蚀反应的过程为: A: 物理作用 B: 化学作用 C: 既有物理作用,又有化学作用 D: 无作用
- 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
- 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中 A: 既有物理作用，又有化学作用 B: 物理作用 C: 化学作用 D: 既不是物理作用也不是化学作用
- 反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。 A: 只属于物理性刻蚀 B: 只属于化学性刻蚀 C: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 D: 以上选项都不正确