关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 反应离子刻蚀的机理包括()。 A: 等离子体增强化学气相反应 B: 溅射轰击 C: 侧壁保护 反应离子刻蚀的机理包括()。A: 等离子体增强化学气相反应B: 溅射轰击C: 侧壁保护 答案： 查看 举一反三 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合 三种干法刻蚀方法中，选择性最好的是 。 A: 等离子刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 反应离子刻蚀 D: 湿法刻蚀 离子束加工分为( )。 A: 离子刻蚀 B: 离子溅射沉积 C: 离子焊接 D: 离子镀 离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。 RIE的含义是 A: 溅射刻蚀 B: 反应离子刻蚀 C: 等离子体刻蚀
