关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。 A: 只属于物理性刻蚀 B: 只属于化学性刻蚀 C: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 D: 以上选项都不正确 反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。A: 只属于物理性刻蚀B: 只属于化学性刻蚀C: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀D: 以上选项都不正确 答案： 查看 举一反三 离子束刻蚀也可称为溅射刻蚀，该刻蚀过程为（）。 A: 化学性刻蚀 B: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 C: 物理性刻蚀 D: 其他选项都不正确 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合 刻蚀方法有哪些？（) A: 化学刻蚀 B: 离子刻蚀 C: 电解刻蚀 D: 以上均不是 （）的刻蚀方法是以等离子体辅助来进行薄膜刻蚀的一种技术。 A: 干法刻蚀 B: 湿法刻蚀 C: 化学刻蚀 D: 物理刻蚀 刻蚀技术主要分为（ ）。 A: 光刻蚀 B: 电子束刻蚀 C: 化学刻蚀 D: 激光毛化
