在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序：离子铣>RIE>等离子体刻蚀。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
举一反三
- 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较： A: 离子铣>等离子体刻蚀>RIE B: 等离子体刻蚀>离子铣>RIE C: 离子铣> RIE>等离子体刻蚀 D: RIE>离子铣>等离子体刻蚀
- 在三种干法刻蚀中各向异性效果优劣排序：离子铣>RIE>等离子体刻蚀。
- 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较： A: 离子铣>;等离子体刻蚀>;RIE B: 等离子体刻蚀>;离子铣>;RIE C: 离子铣>;RIE>;等离子体刻蚀 D: RIE>;离子铣>;等离子体刻蚀
- 中国大学MOOC: 在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较：
- 干法刻蚀的方式主要有：溅射刻蚀、等离子体刻蚀、 刻蚀三种。（写文字