关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-10-27 刻蚀过程中聚合物形成的来源有：（ ）。 A: Si衬底 B: 光刻胶 C: 刻蚀气体中的碳和其它物质组成的化合物 D: 刻蚀溶液 刻蚀过程中聚合物形成的来源有：（ ）。A: Si衬底B: 光刻胶C: 刻蚀气体中的碳和其它物质组成的化合物D: 刻蚀溶液 答案： 查看 举一反三 离子束刻蚀也可称为溅射刻蚀，该刻蚀过程为（）。 A: 化学性刻蚀 B: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 C: 物理性刻蚀 D: 其他选项都不正确 PR的意思是 A: 光刻 B: 刻蚀 C: 光刻胶 D: 增粘剂 SiO2的湿法刻蚀溶液中,可以减缓刻蚀的物质是: SiO2的湿法刻蚀溶液中加入 物质，可以减缓刻蚀速率。 刻蚀过程中主要的污染物有（）。 A: 残留物 B: 聚合物 C: 颗粒污染 D: 气体
