• 2022-10-27
    减薄划片更换胶膜时,将正在加工的晶圆放入(),并盖上盒盖,妥善放置。
    A: 晶圆盒
    B: 提篮
    C: 晶舟
  • A

    内容

    • 0

      晶圆框架盒的主要作用为()和()。 A: 固定并保护晶圆,避免其随意滑动而发生碰撞 B: 用于储存晶圆的容器 C: 保护蓝膜,防止晶圆上的蓝膜受到污染 D: 便于周转搬运

    • 1

      涂好胶的晶元软烘(前烘)后光刻胶膜厚将减薄。

    • 2

      晶圆传递时,晶圆正面朝上,双手拿取晶圆,严禁手指触碰晶圆()。 A: 有芯片区域 B: 绷膜环 C: 蓝膜

    • 3

      为了保护集成电路芯片,制造芯片的硅晶圆无需减薄。( )

    • 4

      晶圆检测工艺中,将烘烤完的晶圆从烘箱中取出后,不需要核对晶圆印章批号和晶圆测试随件单信息。( )