• 2022-06-17
    以下选项中()产品不需要减薄
    A: 已划片产品
    B: 背银片
    C: 背金片
    D: 待减薄晶圆
  • A,B,C

    内容

    • 0

      以下属于减薄质量缺陷的有哪些()。 A: 厚度不符 B: 磨纹纹路异常 C: 掉芯 D: 背崩

    • 1

      以下哪些情况必须对减薄参数进行重新确认?() A: 机器开机首片减薄前 B: 机器进行机械调整后,开始减薄前 C: 操作员换人后 D: 交接班后10分钟内

    • 2

      减薄工艺的正确流程是( )。 A: 清洗→上蜡粘片→原始厚度测量→压片→二次厚度测量→抛光→减薄→去蜡→清洗 B: 清洗→压片→原始厚度测量→上蜡粘片→二次厚度测量→减薄→抛光→去蜡→清洗 C: 清洗→压片→原始厚度测量→上蜡粘片→二次厚度测量→抛光→减薄→去蜡→清洗 D: 清洗→原始厚度测量→上蜡粘片→压片→二次厚度测量→减薄→抛光→去蜡→清洗

    • 3

      薄膜样品在最终减薄时,最好使用减薄速度较快的离子减薄。

    • 4

      机械抛光减薄法在减薄时应该留有在最终减薄时应该去除的硬化余量。