中国大学MOOC: PECVD相对LPCVD方法来说，显著的优点是
温度比较低
举一反三
内容
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常见的化学气相淀积方法有 A: APCVD B: LPCVD C: PECVD D: HDPCVD
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LPCVD和PECVD的不同包括: A: LPCVD 主要采用加热的方式提供化学反应的能量 B: PECVD主要采用等离子体提供能量 C: LPCVD温度比较高,只能用于金属前介质的淀积 D: PECVD温度比较低,适合金属间介质的淀积
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缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（ ）、（ ）、（）、和（ ）。
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中国大学MOOC:直接测量法的显著优点是（）。
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采用LPCVD或PECVD方法可以制备下列哪种薄膜： A: 单晶硅 B: 多晶硅 C: 非晶介质 D: 二氧化硅