85%以上的单晶硅是采用CZ直拉法生长出来的。
举一反三
- 85%以上的单晶硅是采用CZ直拉法生长出来的。 A: 正确 B: 错误
- 下列有关CZ法的优缺点叙述正确的是? A: CZ法通过光学传感器监测单晶棒与熔融硅界面的亮环,控制提拉速度,获得均匀的单晶棒。 B: CZ法因为使用了石英坩埚和石墨坩埚套,导致单晶硅棒氧和碳含量相对较高。 C: CZ法使用移动的加热线圈,完成单晶硅棒的生长,因此硅棒的直径相对较小。 D: CZ法生长单晶硅棒时,硅棒需要匀速旋转,保证径向生长的均匀性。
- 直径大于8英寸的单晶硅锭可以用( )方法制备出来。 A: FZ法 B: CZ法 C: 直拉法 D: 悬浮区熔法
- 硅提纯及制备工艺流程正确的是 A: 石英砂-西门子法多晶硅-金属硅-直拉单晶硅 B: 金属硅-石英砂-西门子法多晶硅-直拉单晶硅 C: 石英砂-金属硅-西门子法多晶硅-直拉单晶硅 D: 西门子法多晶硅-石英砂-金属硅-直拉单晶硅
- 直拉法单晶生长过程包括()、()、()、()、()等步骤。