• 2022-10-26
    下列有关CZ法的优缺点叙述正确的是?
    A: CZ法通过光学传感器监测单晶棒与熔融硅界面的亮环,控制提拉速度,获得均匀的单晶棒。
    B: CZ法因为使用了石英坩埚和石墨坩埚套,导致单晶硅棒氧和碳含量相对较高。
    C: CZ法使用移动的加热线圈,完成单晶硅棒的生长,因此硅棒的直径相对较小。
    D: CZ法生长单晶硅棒时,硅棒需要匀速旋转,保证径向生长的均匀性。