关于化学气相沉积说法正确的是()
A: 等离子增强化学气相沉积的台阶覆盖性比常压化学气相沉积的要好
B: 气相质量输运控制区,对温度很敏感
C: 表面化学反应控制区,对反应剂溶度很敏感
A: 等离子增强化学气相沉积的台阶覆盖性比常压化学气相沉积的要好
B: 气相质量输运控制区,对温度很敏感
C: 表面化学反应控制区,对反应剂溶度很敏感
举一反三
- 化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为？ A: 常压化学气相沉积 B: 低压化学气相沉积 C: 等离子体增强化学气相沉积 D: 高压气相沉积
- “等离子体增强化学气相沉积”,是一种化学气相沉积。
- 气相沉积法分为（）和化学沉积法；化学沉积法按反应的能源可分为热能化学气相沉积、（） 。
- 化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有（）。 A: 热丝化学气相沉积制备多晶硅 B: 低压化学气相沉积制备多晶硅 C: 非晶硅晶化制备多晶硅薄膜 D: 等离子增强化学气相沉积
- 以下属于多晶硅薄膜直接制备法的有（ ）。 A: 液相外延（LPE）法 B: 化学气相沉积（CVD）法 C: 等离子增强化学气相沉积（PECVD）法 D: 低压化学气相沉积（LPCVD）