• 2022-10-27
    集成电路制造工艺需要用到光刻、刻蚀、掺杂、氧化等工艺,是一个非常复杂经过多道工序的过程。
    A: 正确
    B: 错误
  • A

    内容

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      下列工艺中,不使用等离子体的是哪项? A: 光刻工艺 B: 刻蚀工艺 C: 掺杂工艺 D: 沉积工艺

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      集成电路制造工艺技术主要包括:热工艺、()、光刻、清洗与刻蚀、金属化、表面平坦化。

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      集成电路制造过程中的工艺步骤包括( ) A: 薄膜沉积 B: 薄膜刻蚀 C: 光刻 D: 离子注入

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      集成电路制造中图形转移是通过什么工艺实现的 A: 扩散 B: 刻蚀 C: 光刻 D: 蒸发

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      现代集成电路制造工艺中,主流掺杂技术为() A: 扩散 B: 化学机械抛光 C: 刻蚀 D: 离子注入