扩散工艺的结深主要受温度、时间、流量的影响, 影响最大。
A: 温度
B: 时间
C: 流量
D: 方块电阻
A: 温度
B: 时间
C: 流量
D: 方块电阻
A
举一反三
内容
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中国大学MOOC: 实际扩散工艺通过调整炉温比调整扩散时间对结深的影响更大。
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关于扩散方块电阻不均匀，以下说法正确的是（） A: 方块电阻片间不均匀，是由于温度调控差异所致 B: 方块电阻片间不均匀，是由于大N流量不稳定导致 C: 方块电阻过高，是由于扩散时间过长导致 D: 方块电阻片内不均匀，是由于通源不足导致
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计算：一扩散工艺，在进行了54min扩散后，测得结深是2.38μm，若要获得2.5μm的结深，在不改变工艺方法和工艺温度的情况下，应再扩散 ______ 分钟。
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影响乳分离效率的因素主要是温度、时间和流量。
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薄板清洗不及时，影响麦汁冷却（）。 A: 时间 B: 温度 C: 流量