扩散工艺中杂质浓度分布的测量可以采用（）法测试。
A: 四探针法
B: C-V法
C: 热探针法
D: 磨角染色法
A: 四探针法
B: C-V法
C: 热探针法
D: 磨角染色法
B
举一反三
内容
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扩散分布中方块电阻的主要测量方法是 A: 四探针测量 B: 霍尔测量 C: 染色法测量 D: 二次离子质谱测量
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单晶硅棒的电阻率测量可采用（）法。 A: 四探针法 B: 热探针法 C: 光电导衰减法 D: 色差法
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单晶硅的导电类型的测试可采用（）法。 A: 热探针法 B: 二探针法 C: 四探针法 D: 光电导衰减法
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结深的测量方法有 A: 磨角染色法 B: 滚槽法 C: 范德堡法 D: 四探针法
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四探针法测试时双配置的优点：探针可以朝向任何方向，____________，自校正探头间距的变化。