离子注入的结深主要有注入的能量决定，杂质浓度分布是由剂量决定。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
举一反三
- 中国大学MOOC: 离子注入的结深主要有注入的能量决定，杂质浓度分布是由剂量决定。
- 离子注入控制电参量，故易于精确控制注入离子的密度分布、浓度分布可以通过改变注入能量加以控制。
- 离子注入的过程中,掺杂物的浓度是有离子电流与注入时间相乘所决定的。( )
- 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确： A: 注入离子越轻，临界剂量越小； B: 靶温升高，临界剂量上升； C: 注入离子能量越高，临界剂量越低； D: 注入离子剂量率增大，临界剂量降低。
- 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量,下面哪几种说法正确: A: 靶温升高，临界剂量上升； B: 注入离子剂量率增大，临界剂量降低。 C: 注入离子能量越高，临界剂量越低； D: 注入离子越轻，临界剂量越小；