软烘烤的目的是什么？列出烘烤过度和不足会产生什么后果？
目的：将光刻胶从液态转变为固态，增强光刻胶在晶体表面的附着力。使光刻胶含有5%-20%的残余溶剂。不足后果：1、光刻胶在后续工艺中因为附着力不足脱落2、过多的溶剂造成曝光不灵敏3、硬化不足，光刻胶会在晶圆表面产生微小震动，会在光刻胶上面产生模糊不清的图像。过度后果：光刻胶过早聚合和曝光不灵敏
举一反三
内容
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饼干烘烤的目的
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简述烘烤的目的
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涂膜未经干燥晾干直接进入高温烘烤会产生缩孔。
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饼干烘烤冷却的目的。
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加入铁合金前为什么要烘烤干燥？铁合金含水量高，对钢的质量有什么影响？