关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 关注微信公众号《课帮忙》查题 公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！公告：维护QQ群：833371870，欢迎加入！ 2022-06-03 HDPCVD制备的介质薄膜的台阶覆盖特性不好。 HDPCVD制备的介质薄膜的台阶覆盖特性不好。 答案： 查看 举一反三 溅射比蒸发制备的薄膜的台阶覆盖比要好。 A: 正确 B: 错误 中国大学MOOC: 溅射比蒸发制备的薄膜的台阶覆盖比要好。 电子束蒸发淀积的薄膜台阶覆盖性好,沾污少。 如果要求淀积非金属薄膜的台阶覆盖性(保角特性)好,应该使用下列哪种工艺?() A: APCVD B: LPCVD C: PECVD 中国大学MOOC: 制备TiO2等介质薄膜可以采用 溅射方法。
