APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？

HDPCVD制备的介质薄膜的台阶覆盖特性不好。

缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（ ）、（ ）、（）、和（ ）。

等离子体增强化学气相淀积的英文缩写是 A: HDPCVD B: PECVD

常见的化学气相淀积方法有 A: APCVD B: LPCVD C: PECVD D: HDPCVD

低压化学气相淀积的英文缩写是（）。 A: APCVD B: PECVD C: LPCVD D: HDPCVD

缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。

化学气相淀积常见的种类有: A: APCVD B: LPCVD C: PECVD D: HDPCVD E: LCVD