在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()
举一反三
- 恒定源扩散在整个扩散的过程中杂质溶度始终保持不变;限定源扩散在整个扩散过程中单位面积杂质总量为常量。(<br/>)
- 杂质在硅中的扩散方式有哪些?
- 如果扩散过程中始终保持表面杂质浓度不变(无限源扩散),那么形成的杂质分布是()分布;如果扩散过程中保持杂质的总量不变(限定源扩散),则形成的杂质分布是()分布
- 杂质在硅中扩散主要采用两种方式:恒定表面源扩散和限定表面源扩散,下面对其叙述正确的有 A: 恒定表面源扩散指将硅片处于恒定浓度的杂质氛围中,杂质扩散到硅表面很薄的表层。 B: 恒定表面源扩散特点:可控制表面浓度和扩散探度,但不能任意控制杂质总量,因而难以制作出高表面浓度的浅结 C: 限定表面源扩散指在扩散过程中硅片外部无杂质的环境氛围下,杂质源限定于扩散前淀积在硅片表面极薄层内的杂质总量Q,扩散过程中Q为常量,依靠这些有限的杂质向硅片内进行的扩散。 D: 限定表面源扩散特点:控制杂质总量和扩散深度,但不能任意控制表面浓度,难以制作出低表面浓度的深结
- 杂质在硅晶体中的扩散可分为两种机制,分别为 扩散和 扩散。