反应离子刻蚀RIE刻蚀时选择最优的刻蚀掺数的组合可以在保证表面光滑和一定的速率和方向性。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
A
举一反三
内容
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在RIE刻蚀中,深宽比越大,刻蚀速率越()。 A: 快 B: 慢 C: 一样
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刻蚀按照刻蚀方向性有各向同性刻蚀和______ 两种；按照刻蚀手段又有湿法刻蚀和______ 两种
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以下刻蚀方法中，不属于各向同性的刻蚀是（）。 A: 湿法刻蚀 B: 溅射刻蚀 C: 等离子体刻蚀 D: 反应离子刻蚀
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中国大学MOOC: 刻蚀的主要参数包括刻蚀速率、刻蚀因子、刻蚀选择性、刻蚀清洁度和
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中国大学MOOC: 反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大；若化学作用占主导则刻蚀速度较慢，各项同性，表面粗糙。