反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大；若化学作用占主导则刻蚀速度较慢，各项同性，表面粗糙。
A: 正确
B: 错误
A: 正确
B: 错误
A
举一反三
- 中国大学MOOC: 反应离子刻蚀RIE工作过程中若物理作用占主导则刻蚀损伤较大；若化学作用占主导则刻蚀速度较慢，各项同性，表面粗糙。
- RIE刻蚀反应的过程为: A: 物理作用 B: 化学作用 C: 既有物理作用,又有化学作用 D: 无作用
- 反应离子刻蚀是 A: 化学刻蚀机理 B: 物理刻蚀机理 C: 物理的溅射刻蚀和化学的反应刻蚀相结合
- 反应离子刻蚀进行刻蚀过程中 A: 既有物理作用，又有化学作用 B: 物理作用 C: 化学作用 D: 既不是物理作用也不是化学作用
- 反应离子刻蚀RIE的主要特点是（）。 A: 只属于物理性刻蚀 B: 只属于化学性刻蚀 C: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 D: 以上选项都不正确
内容
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反应离子刻蚀RIE刻蚀时选择最优的刻蚀掺数的组合可以在保证表面光滑和一定的速率和方向性。 A: 正确 B: 错误
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RIE的含义是 A: 溅射刻蚀 B: 反应离子刻蚀 C: 等离子体刻蚀
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在反应离子刻蚀中，若增大压强，则离子的方向性_____，刻蚀速度_____。 A: 变差；变快 B: 变好；变慢 C: 变好；变快 D: 变差；变慢
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反应离子刻蚀RIE刻蚀时选择最优的刻蚀掺数的组合可以在保证表面光滑和一定的速率和方向性。
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离子束刻蚀也可称为溅射刻蚀，该刻蚀过程为（）。 A: 化学性刻蚀 B: 既有物理刻蚀又包含化学刻蚀 C: 物理性刻蚀 D: 其他选项都不正确