中国大学MOOC: CVD是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。
举一反三
- CVD是利用某种物理过程,例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移,即原子或分子由源转移到衬底(硅)表面上,并淀积成薄膜。 A: 正确 B: 错误
- PVD真空镀,它是指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子移到基材表面上的过程。( )
- PVD真空镀,它是指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子移到基材表面上的过程。 A: 对 B: 错
- 通过加热,使待淀积的金属原子获得足够的能量,脱离金属表面蒸发出来,在飞行途中遇到硅片,就淀积在硅表面,形成金属薄膜,该工艺过程是 A: CVD B: 氧化 C: 蒸发 D: 溅射
- 中国大学MOOC: 溅射(Sputtering)是由 轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。