• 2022-10-26
    关于CVD方法,以下说法正确的是:()
    A: CVD过程中,温度较高时一定为扩散限制
    B: APCVD的成膜质量要明显高于LPCVD
    C: PECVD的沉积温度要明显低于APCVD和LPCVD
    D: CVD技术可以作为一种表面改性技术