下面关于拉制单晶的问题,哪个正确?
A: 拉制单晶锭是以最大提拉速度进行生产的
B: 单晶生长是在熔体硅/晶体硅界面进行的
C: 实际干锅内熔体的温度梯度为零
D: 实际提拉单晶硅锭的速率考虑了质量和生产效率两方面因素
A: 拉制单晶锭是以最大提拉速度进行生产的
B: 单晶生长是在熔体硅/晶体硅界面进行的
C: 实际干锅内熔体的温度梯度为零
D: 实际提拉单晶硅锭的速率考虑了质量和生产效率两方面因素
举一反三
- 以下制作硅片的流程正确的为( )。 A: 沙子-熔融-切割-拉单晶-硅晶圆 B: 沙子-熔融-拉单晶-切割-硅晶圆 C: 沙子-切割-熔融-拉单晶-硅晶圆
- 利用高频感应线圈对多晶硅逐段熔化,在多晶硅锭下方装置籽晶,熔区从籽晶和多晶硅锭界面开始,熔区推进,单晶拉制成功,该方法是 。 A:
- 磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
- 中国大学MOOC: 磷在硅熔体与晶体中的分凝系数约为0.35,这使得液相掺杂拉制的掺磷硅锭的电阻率:
- 下列有关CZ法的优缺点叙述正确的是? A: CZ法通过光学传感器监测单晶棒与熔融硅界面的亮环,控制提拉速度,获得均匀的单晶棒。 B: CZ法因为使用了石英坩埚和石墨坩埚套,导致单晶硅棒氧和碳含量相对较高。 C: CZ法使用移动的加热线圈,完成单晶硅棒的生长,因此硅棒的直径相对较小。 D: CZ法生长单晶硅棒时,硅棒需要匀速旋转,保证径向生长的均匀性。