• 2022-10-26
    微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中,100级的含义是:每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为()
    A: 35;
    B: 100;
    C: 102;
    D: 237。