微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中,100级的含义是:每立方米空气中大于等于0.1m的悬浮粒子的最大允许个数为()
A: 35;
B: 100;
C: 102;
D: 237。
A: 35;
B: 100;
C: 102;
D: 237。
举一反三
- 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度,按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以( )空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 A: 每立方米 B: 每平方米 C: 每立方厘米 D: 每平方厘米
- 【多选题】以下关于不同洁净区空气悬浮粒子的标准规定正确的是 A. 静态,A级洁净区≥0.5um的悬浮粒子最大允许是3520 B. 动态,B级洁净区≥0.5um的悬浮粒子最大允许是3520 C. 静态,C级洁净区≥5um的悬浮粒子最大允许数为352000 D. 动态,D级洁净区≥0.5um的悬浮粒子最大允许数不做规定
- GMP2010版中根据洁净区空气中每立方米大于0.5μm和5μmz最大允许颗粒数量将洁净度级别分为()、()、()及()。
- 药品生产洁净室(区)的空气洁净度要求最高的是( ) A: A级洁净区 B: B级洁净区 C: C级洁净区 D: D级洁净区
- 注射剂浓配生产环境的空气洁净要求 () A: 洁净度级别为100级 B: 洁净度级别为1000级 C: 洁净度级别为10000级 D: 洁净度级别为100000级 E: 洁净度级别为300000级